遠程塵埃粒子在線監測系統的選擇

    集成電路加工制造業是必須在一個潔凈自然環境中開展的，它是應用超純原材料開展超細致生產加工的制造行業。集成電路生產制造對凈化室自然環境的操縱有嚴苛的規定，不一樣的加工工藝對潔凈度有不一樣的規定。塵埃粒子在線監測系統

    半導體材料集成電路在加工過程中會觸碰到許多 空氣污染物，例如無機正離子、有機化學化學物質、微生物菌種、汽體殘渣這些。此外，理論來講，不適度的溫度、環境濕度、陽光照射、靜電感應超標準、電磁感應噪音、空氣噪音和微震動也是獨特的空氣污染物。

    在其中，當顆粒物殘渣、無機正離子、有機化學化學物質、微生物菌種和汽體殘渣的成分超出一定程度時，集成電路商品會出現表層刮傷、圖型破裂、短路故障、針眼、蛻皮等狀況。造成電路泄露和出現異常電氣設備特點，輕則危害電路特性和使用期，重則造成電路損毀。

    一般 ，環境污染造成的電路商品返修率將會達到60％。簡而言之，集成電路集成ic的產出率與集成ic的缺點相對密度相關，而缺點相對密度與空氣中的顆粒數相關。因而，伴隨著集成電路的快速發展趨勢，不但對操縱空氣中顆粒物的尺寸規定極高，并且對操縱顆粒物的總數也規定極高。另外，對集成電路工藝集成電路工作環境中凈化車間新項目的有機化學環境污染操縱也是有有關規定。塵埃粒子在線監測系統

    由于這類狀況，就必須應用遠程控制空氣浮塵粒子計數器來對半導體材料集成電路生產線的自然環境開展檢測，確保商品工作環境做到清潔規范，針對空氣浮塵粒子計數器的挑選，項目工程師提議應用英國ParticlesPlusInc．遠程控制空氣浮塵粒子計數器－5301，配備簡易，可從一個儀器設備遷移到另一個儀器設備，便于清理和擦洗與最小的粒子圈套，智能安裝選擇項，無縫拼接集成化到設備監控系統軟件。