凈化器外的空氣滲入是影響潔凈度的一個重要原因

1. 單向流動潔凈室中的空氣流動分析

（1）應用周期短. 單向氣流的換氣頻率為300?400次/小時，空調系統一般采用兩種回風方式. 空氣處理單元（AHU）與潔凈室之間有一定距離時. 航空運輸的能源消耗非常大. 如果可以在潔凈室中循環使用（短周期），則可以大大降低能耗. 表27.8-1說明了兩者之間的區別.

（2）顯熱盤管的應用. 由于該想法的工業潔凈室中的負荷主要是顯熱，即熱濕比為+∞，因此在進行新鮮的大規模除濕后，可以將其與顯熱冷卻盤管的室內空氣混合. 空氣集中處理. 以此方式，為了處理大量的循環空氣，可以使用具有較高水溫的冷水，而通過低溫除濕盤管處理少量的新鮮空氣，這在經濟上是有利的. 表27.8-2中列出的兩種方法用于此處理，即在末尾混合新風和回風，在顯熱盤管之前混合新風和回風. 總冷卻負荷沒有差別.

2. 潔凈室和空調的各種組合

（1）空調系統和局部凈化裝置的組合如表27.8-3所示. 在本地凈化設備的控制范圍內，通常可以達到5級. 在表中，I表示不帶外殼的局部清潔區域，II表示帶可移動外殼的清潔區域，III表示操作固定透明外殼的區域. 可以從原始的非單向流動潔凈室轉換以上三個局部潔凈區域.

（2）非單向流動潔凈室和空調系統的組合如表27.8-4所示. 通常，可以達到6至8的清潔度. 我是兩次回風模式；對于需要24小時運行的無塵室，可以通過變頻控制風扇，以適應夜間的負載和正壓. II適用于多個系統的集中新鮮空氣處理.

（3）單向流動潔凈室和空調的組合如表27.8-5所示. 在表中，我是單風扇全風量運行模式（兩次回風）；二是短循環模式； III / IV是使用空調單元的無塵室空調方法. 表中的方法最適合于小型單人潔凈室. 以下示例介紹了大規模單向流清洗.

（4）清潔隧道方法，在微電子工業中，出于經濟考慮，結合工藝特征，已經形成了一種特征性的純化方法，成為清潔隧道. 圖27.8-1顯示了減少潔凈空間和空調供氣系統的過程根據進化過程，這種從模式I引導III的方式可以將集中式機房的空氣供應減少到5％，并將風扇功率減少到50 ％. 設備成本降低了60％.

隨著超大規模集成電路制造的發展，過程自動化程度日益提高. 它不一定需要在大型工廠建筑物中進行高層凈化，而是創建了一個與過程密切相關的微環境控制設備. 該設備實現了高級凈化環境.

3. 凈化空調系統分部

純凈空調系統的風量大于普通空調系統的風量，因此應根據建筑空間等的布局合理劃分，以使風道交叉. 截面和傳輸長度不應太大. 此外，還應根據以下原則考慮系統的劃分；

（1）單向流系統應與非單向流分開. 這是由于凈化水平不同而導致的空氣處理和控制方法的差異.

（2）應分別設置三級過濾和凈化系統和一般的空調系統（或兩級過濾和凈化系統）.

（3）溫度和濕度精度差異較大的系統應單獨設置.

（4）具有不同操作班次和操作規則的系統應分別設置.

（5）具有不同新鮮空氣比例的系統應分別設置.

（6）產生有毒，有害，易燃和易爆材料的系統應與一般系統分開設置.

4. 潔凈室的正壓控制

潔凈室外部的空氣滲透是污染干擾潔凈室清潔度的重要原因之一. 因此，必須給報紙一定的壓力差. 潔凈室與潔凈度不同的潔凈區域和非潔凈區域之間的壓力差應大于或等于5pa，潔凈區域與室外之間的壓力差應大于或等于10pa. 相反，該過程產生大量粉塵. 在有毒，易燃易爆物質的加工區域中，手術室與其他室之間應保持相對負壓.

由于凈化空調系統中過濾器阻力的變化以及排氣柜的排氣可能在室內，因此必須采取相應的措施和控制以保持一定的正壓. 殘留壓力閥，回風口的阻尼層以及回風閥的手動或自動控制通常用于維持室內的正壓. 對于一般的空調房間，保持室內正壓的流出空氣量與每個空氣量L滲透之間的關系為L滲透（正壓）= L send-L return-L局部排放. 正壓穿透風量可以根據房間結構的密封性能（一定壓差下每米間隙的風量）來確定，一般可以根據房間通風頻率2-6次/ h來取. 但是，由于無塵室的嚴格結構和對正壓的嚴格要求，使用殘壓閥或差壓式電動風門控制閥更加可靠.

用新鮮空氣量控制新鮮空氣量的原理. 對于多房間系統，根據每個房間的壓力要求，使用微電腦控制.